Halbleiterausrüstungsringring

Semiconductor Equipment Slip Ring ist eine der Kernausrüstung in intelligenten Fabriken und spielt eine Schlüsselrolle im Halbleiterherstellungsprozess. Semiconductor Equipment Slip Ring bezieht sich im Allgemeinen auf ein Rotationsverbindungssystem, das zur Übertragung von Strom, Signalen und Flüssigkeitsmedien zwischen rotierenden Teilen verwendet und die rotierenden Teile kontinuierlich laufen. Das Folgende ist eine Analyse des Semiconductor Equipment Slip Ring:

1. Funktion: Die Hauptfunktion von Semiconductor -Geräte -Schlupfringen besteht darin, die Stromübertragung, die Signalübertragung und den mittleren Fluss zwischen rotierenden Teilen zu erreichen. Im Semiconductor -Herstellungsprozess müssen rotierende Teile (z. B. Werkstücktische, Schnittscheiben usw.) mit stationären Teilen (z. B. Stromversorgungen, Sensoren usw.) verbunden werden. Halbleiterausrüstungsschlupfringe erreichen ein stabiles Strom- und Signalgetriebe, indem sie Bürsten und ringende Kontaktflächen bereitstellen und gleichzeitig die Lieferung von flüssigen Medien unterstützen.
2. Anwendung: Halbleiterausrüstungs -Schlupfringe werden in verschiedenen Links der Semiconductor -Herstellungsgeräte häufig verwendet. Dazu gehören die Vorbereitung der Vorbereitung, die Ablagerung von Dünnfilmen, die Reinigung und Inspektionsprozesse. In diesen Prozessen können Halbleiterausrüstungsrückringe zum Drehen von Schnittscheiben, Vakuumdrehverbindungen und verschiedenen rotierenden Stützstrukturen verwendet werden, um die Stromversorgung, die Signalübertragung und die mittlere Lieferung zu erreichen.
3. Technische Anforderungen: Halbleiterausrüstungs -Schlupfringe müssen eine Reihe strenger technischer Anforderungen erfüllen. Erstens muss es die Eigenschaften der Hochgeschwindigkeitsrotation, der Übertragung von Hochgeschwindigkeiten und einem geringen Rauschen aufweisen, um die Stabilität und Zuverlässigkeit des Herstellungsprozesses des Halbleiterherstellers zu gewährleisten. Zweitens müssen Halbleiterausrüstungs -Schlupfringe eine gute elektrische Isolierung sowie Staub- und Verschmutzungspräventioneigenschaften aufweisen, um negative Auswirkungen auf die Qualität von Halbleiterprodukten zu vermeiden. Darüber hinaus sind Korrosionsbeständigkeit, Verschleißfestigkeit und zuverlässige Versiegelung auch wichtige Merkmale, die für Rutschenringe der Halbleiterausrüstung erforderlich sind.
4. Innovation und Entwicklung: Mit der kontinuierlichen Entwicklung der Halbleitertechnologie innovieren und verbesserten sich auch die Rutschringe der Halbleiterausrüstung ständig. Beispielsweise kann die Verwendung von bürstenlosen Motoren und kontaktlosen Schlupfringdesigns die Reibung verringern und die Zuverlässigkeit und die Lebensdauer der Geräte verbessern. Darüber hinaus kann die Anwendung neuer Materialien und die Verbesserung der Präzisionsverarbeitungstechnologie auch dazu beitragen, die Leistung und Zuverlässigkeit von Slipringen der Halbleiterausrüstung zu verbessern.

Zusammenfassend sind Halbleiterausrüstungsringe eine der unverzichtbaren Kerngeräte in intelligenten Fabriken. Sie realisieren die Stromübertragung, die Signalübertragung und den mittleren Fluss zwischen rotierenden Teilen im Halbleiterherstellungsprozess und stellten den stabilen Betrieb und die qualitativ hochwertige Herstellung von Halbleitergeräten sicher. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Halbleitertechnologie werden die Slip -Ringe der Halbleiterausrüstung weiterhin innovieren und sich entwickeln, um die Bedürfnisse intelligenter Fabriken nach höherer Leistung und Zuverlässigkeit zu erfüllen.